江苏省技术产权交易市场

一种沉积NiTi合金层外延生长NiSiGe材料的方法
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商品编号
202018502827501192
商品权属
自有
交易方式
普通许可
商品价格
面议

店铺信息

刘松
电话 135xxxx0554
本发 明提供了一种新的生成NiSiGe材料的方法,采用改变金属淀积层成分来调节合金化反应的 进程,通过磁控溅射方法在SiGe表面生长NiTi合金薄膜,通过一定退火工艺,形成了高 质量的NiSiGe薄膜。
本发 明提供了一种新的生成NiSiGe材料的方法,采用改变金属淀积层成分来调节合金化反应的 进程,通过磁控溅射方法在SiGe表面生长NiTi合金薄膜,通过一定退火工艺,形成了高 质量的NiSiGe薄膜。
商品类型 技术成果 项目阶段 试生产 成果权属 独占
技术领域
先进制造与自动化
交易方式 普通许可 权属人
孙峰
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