本发明提供一种基于焦深延拓像散探头的透镜参数测量方法,具有曲率半径、中心厚、及轮廓三种测量模式,所述包括上位机、运动控制器、三轴电动平移台、焦深延拓像散探头、夹持机构、待测元件,其中所述焦深延拓像散探头将光束聚焦至待测元件表面,探头测量的反射光斑形状与表面及探头之间位置相关,通过分析光斑形状定位表面位置;所述三轴电动平移台带动探头在xyz三个方向进行扫描获得表面面形信息,并实现元件几何参数的测量。本发明相比传统测量设备,本发明为非接触测量,不会损伤表面,且结合了三种测量模式,具有超高性价比,有望在光学加工企业广泛应用。
本发明提供一种基于焦深延拓像散探头的透镜参数测量方法,具有曲率半径、中心厚、及轮廓三种测量模式,所述包括上位机、运动控制器、三轴电动平移台、焦深延拓像散探头、夹持机构、待测元件,其中所述焦深延拓像散探头将光束聚焦至待测元件表面,探头测量的反射光斑形状与表面及探头之间位置相关,通过分析光斑形状定位表面位置;所述三轴电动平移台带动探头在xyz三个方向进行扫描获得表面面形信息,并实现元件几何参数的测量。本发明相比传统测量设备,本发明为非接触测量,不会损伤表面,且结合了三种测量模式,具有超高性价比,有望在光学加工企业广泛应用。
商品类型 | 专利 | 申请号 | 202110908385.1 | IPC分类号 | |
专利类型 | 发明 | 法律状态 | 有权 | 技术领域 |
先进制造与自动化 先进制造与自动化 先进制造与自动化
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交易方式 | 技术转让 | 专利状态 | 已授权 | 专利权人 | |